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SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀器主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperView W1三維光學(xué)成像輪廓儀測粗糙度對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面粗糙度形貌的3D測量。

SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓儀器以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

中圖儀器3d光學(xué)檢測輪廓儀可測量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運動精度可達數(shù)納米，線性精度可達亞納米級別。