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SJ5700S大量程粗糙度輪廓儀采用高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機(jī)、音圈電機(jī)測(cè)力系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面輪廓進(jìn)行測(cè)量和分析。

中圖儀器SuperViewW1三維自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

SJ5800接觸式二維輪廓測(cè)量?jī)x可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測(cè)，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。

中圖儀器SJ5800系列二維輪廓儀能實(shí)現(xiàn)對(duì)軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測(cè)量和分析。它具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，測(cè)試軸承內(nèi)外側(cè)?？蛇x軸承夾具和滾子分析，方便測(cè)試。

中圖儀器SuperViewW系列3D光學(xué)檢測(cè)儀器具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。