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中圖儀器SJ5800系列粗糙度輪廓儀采用超高精度納米衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術,分辨率高達0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm。
SuperViewW系列3d輪廓儀白光干涉儀是以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
SuperViewW1光學粗糙度輪廓儀一體機基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
中圖儀器SJ5800國產(chǎn)粗糙度輪廓儀可以實現(xiàn)對產(chǎn)品表面形貌特征、微小結(jié)構(gòu)參數(shù)獲取以及質(zhì)檢功能,并且能夠快速有效地檢查出產(chǎn)品表面存在的小坑洞、凹槽等缺陷;同樣適用于機械加工過程中的運轉(zhuǎn)部件等零件制造,因為它不但可以方便地監(jiān)控各種尺寸變化還可記錄每個階段的裂紋或損傷情況。
SuperViewW1光學三維輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。數(shù)秒內(nèi)可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。
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