中圖儀器VT6000系列共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖儀器VT6000系列3D激光測量共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;設(shè)備具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量。
中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡大坡度成像更清晰,它以針孔共聚焦技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。
以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡?,是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。VT6000系列3d共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù),在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡品牌是一款在材料領(lǐng)域中,用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。采用全電動化設(shè)計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。
中圖儀器VT6000系列激光共聚焦掃描顯微鏡配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像,對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。儀器采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對。
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