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SuperViewW系列白光干涉三維形貌儀輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

NS系列亞埃級(jí)分辨率臺(tái)階儀是利用光學(xué)干涉原理，通過測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

CEM3000系列國(guó)產(chǎn)鎢燈絲臺(tái)式掃描電鏡的發(fā)射電流大且穩(wěn)定，抗震和抗電磁干擾等性能較好，在一些較為復(fù)雜的工作環(huán)境中，如存在一定程度的機(jī)械振動(dòng)或電磁干擾的實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)等，鎢燈絲臺(tái)式掃描電鏡依然能夠穩(wěn)定地工作，保證檢測(cè)結(jié)果的可靠性和重復(fù)性，減少因外界干擾而導(dǎo)致的圖像模糊、信號(hào)失真等問題。

CEM3000國(guó)產(chǎn)桌面掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。

VT6000國(guó)產(chǎn)共聚焦3D材料分析顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000材料3D形貌共聚焦測(cè)量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量?？蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。