SuperViewW國產白光干涉光學輪廓儀系統(tǒng)基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。
SuperViewW非接觸式光學3D表面粗糙度輪廓儀特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能。
SuperViewW光學三維表面形貌測量儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器,單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量。
SuperViewW高精密非接觸光學輪廓測量儀以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量。它通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
SuperViewW一鍵三維形貌光學檢測輪廓儀基于白光干涉原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。
中圖儀器3D顯微形貌粗糙度光學輪廓儀SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。
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