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中圖儀器SuperViewW白光三維測量系統(tǒng)基于白光干涉原理，能以3D非接觸方式對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

VT6000三維共聚焦白光顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

中圖儀器VT6000共聚焦超分辨顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

NS系列國產(chǎn)膜厚檢測臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，可測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。NS系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

中圖儀器NS系列微觀表面測量臺階儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點，采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析的精密光學儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。