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中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓儀器以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。
中圖儀器3d光學(xué)檢測輪廓儀可測量程范圍內(nèi)的三維尺寸,不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)。
中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺(XY)局部位移精度和線性精度為亞微米,Z向運動精度可達數(shù)納米,線性精度可達亞納米級別。
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