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SJ6000運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌精度快速激光干涉測(cè)量?jī)x以激光干涉技術(shù)為核心,分辨率可達(dá)納米級(jí)。儀器采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,并且干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免了干涉鏡受熱影響,保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。
中圖儀器SJ6000線性模組定位精度激光干涉測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
中圖儀器SJ6000國(guó)產(chǎn)單頻激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,它利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。
中圖儀器SJ6000高精度工業(yè)激光干涉測(cè)量?jī)x集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
中圖便攜式激光干涉儀sj6000以光波為載體,其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義。它具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
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