三坐標(biāo)測量儀是一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(biāo)（x,y,z）及各項功能量測的三維坐標(biāo)測量儀器。

中圖儀器Mars系列三維坐標(biāo)測量儀器是移動橋式的三坐標(biāo)測量機。能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測，也支持觸發(fā)、掃描和非接觸式探測系統(tǒng)，對軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量。并且支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉(zhuǎn)臺等。

主要特點

1、三軸均采用低熱膨脹系數(shù)的花崗巖導(dǎo)軌，機器具有良好的溫度適應(yīng)性，抗時效變形能力。

2、環(huán)抱式的氣浮布局，使機器保持長時間的穩(wěn)定運行，并且具有高的運行精度。

3、關(guān)鍵部件一體鑄造成型，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，強度高，運行更為快速平穩(wěn)、測量精度更高。

4、低摩擦阻力的氣缸，Z軸在運動過程中具有低摩擦阻力，提高Z軸運動的精度。

5、采用海德漢光柵尺，確保機器在使用過程中具有高精度和長時間的穩(wěn)定性。

6、高剛性傳動，保證了機器傳動的剛性和平穩(wěn)性，提高了機器的運動精度。

7、固定式的工作臺，使機器具有承載能力強、裝卸空間寬闊、便捷。

8、氣壓檢測安全裝置，保證Z軸不會因為斷氣而下墜，保證了測頭測座的安全。

Mars系列三坐標(biāo)的測頭系統(tǒng)是由測座、測頭、探針等組成，是數(shù)據(jù)采集的傳感器系統(tǒng)，三坐標(biāo)測量機在對工件進(jìn)行測量時，能夠根據(jù)測頭系統(tǒng)探測工件，返回工件表面的點數(shù)據(jù)，通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)計算各類幾何形狀、尺寸等。

1.測頭座

測頭座是探測系統(tǒng)中連接三坐標(biāo)測量機移動軸與測頭的部分，測頭信號通過測座同三坐標(biāo)測量機控制系統(tǒng)的測頭接口相連。測座有多種，主要分為手動可旋轉(zhuǎn)測座、固定測座、萬向探測系統(tǒng)三種。

2.測頭

測頭是測量機觸測被測零件的發(fā)訊開關(guān)，它是坐標(biāo)測量機的關(guān)鍵部件，主體為探測傳感器，一般由獨立的控制系統(tǒng)控制，其主要包括測量力的控制、測量過程控制、測點的感知、與坐標(biāo)測量系統(tǒng)通訊等。

3.探針

安裝在測頭上，并接觸被測量元件，典型結(jié)構(gòu)為測桿＋紅寶石球。不同形狀和規(guī)格，確保測頭不受限制的對工件所有特征元素進(jìn)行測量，整個探針系統(tǒng)包括：接長桿、轉(zhuǎn)接件、探針(組)等。探針系統(tǒng)可以根據(jù)相關(guān)的測量要求，通過對這些構(gòu)件的組合與配置，形成各種結(jié)構(gòu)形式，以完成不同的測量任務(wù)。

4.附件

1）加長桿

加長桿探針的輔助測量，具有測量較深位置特征的能力。

2）更換架

由于被測工件的復(fù)雜性，在實際測量工作中不可能由一個探針(系統(tǒng))完成所有的測量任務(wù)，更換架可對測量機測座上的測頭/加長桿/探針組合進(jìn)行快速、可重復(fù)的更換，在同一測量系統(tǒng)下對不同的工件進(jìn)行自動化的檢測。

3）標(biāo)準(zhǔn)球

由坐標(biāo)測量系統(tǒng)供應(yīng)商提供的一個(組)已知直徑的高精度球(球度誤差很小)， 用來標(biāo)定和校準(zhǔn)探測系統(tǒng)。這個裝置在平時使用過程中必須注意保護(hù)，因為它是測量機精度的依據(jù)之一，也是使用很頻繁的一個裝置。 

選配件

1.冷干機

三坐標(biāo)用氣源的初級空氣過濾，除水，除油，為三坐標(biāo)本身所配置的精密過濾系統(tǒng)減輕壓力，有效延長測量機的使用壽命。

2.UPS穩(wěn)壓電源

提供電壓及斷電延遲保護(hù)，防止客戶現(xiàn)場因為電壓不穩(wěn)定造成測量機元器件的損壞及防止因意外斷電造成正在測量過程中的數(shù)據(jù)丟失。

3.測頭更換架

由于被測工件的復(fù)雜性，在實際測量工作中不可能由一個探針完成所有的測量任務(wù)，更換架可對測量機測座上的測頭/加長桿/探針組合進(jìn)行快速、可重復(fù)性的更換，在同一測量系統(tǒng)下對不同的工件進(jìn)行自動化的檢測。

4.夾具

三坐標(biāo)夾具使用在測量機上，利用其模塊化的支持和參考裝置，完成對所測工件的柔性固定。

5.打印機 

打印機可用于將測量報告打印輸出。

中圖儀器三坐標(biāo)測量儀采用自主研發(fā)的設(shè)計與測量系統(tǒng)，提供了測量機的高精度性能，測量行程500*700*500mm延伸到900*1200*600mm，結(jié)合多樣化配置，可滿足不同的測量需求。