激光干涉儀在工業(yè)制造行業(yè)發(fā)揮著重要作用。它以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量，可以檢測(cè)加工中心及機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的各項(xiàng)精度參數(shù)，使被加工工件符合標(biāo)準(zhǔn)，提高了產(chǎn)出的整體質(zhì)量度。中圖儀器品牌的激光干涉儀能實(shí)現(xiàn)線性定位精度、直線度、角度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量測(cè)量功能，同時(shí)結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，還能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、直線度和垂直度、扭擺角，記憶校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸精度。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)

全套系統(tǒng)

主要鏡組為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

機(jī)床應(yīng)用案例

測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度

測(cè)量機(jī)床直線度

數(shù)控機(jī)床精度校準(zhǔn)

中圖儀器品牌的激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源。其精度高，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測(cè)量大距離用。激光千涉?zhèn)鞲衅骺蓱?yīng)用于精密長(zhǎng)度計(jì)量，如線紋尺和光柵的檢定，量塊自動(dòng)測(cè)量，精密絲桿動(dòng)態(tài)測(cè)量等，還可用于工件尺寸、坐標(biāo)尺寸的精密測(cè)量中。