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SuperViewW1粗糙度輪廓光學(xué)測量儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖儀器輪廓掃描測量儀X軸、Z軸采用獨立運(yùn)動系統(tǒng),使用先進(jìn)的兩軸聯(lián)動運(yùn)動控制算法,可實現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動掃描,測量時測針在工件表面做仿形運(yùn)動掃描(主動掃描),既保持了恒測力,又保證了大的陡坡通過能力,工件調(diào)平操作簡單,同時避免了崩針、掛針等問題。該產(chǎn)品還支持量程定制,適用于各行業(yè)領(lǐng)域的實驗室或工作現(xiàn)場使用。
SuperViewW1三維光學(xué)輪廓形貌儀是一款既可以用于科學(xué)研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的光學(xué)檢測儀器??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
SuperViewW1光學(xué)輪廓測量儀在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發(fā)感應(yīng)器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應(yīng)向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷。其雙通道氣浮隔振系統(tǒng),既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
中圖儀器輪廓儀檢測儀器可廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。該儀器可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量,尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測,如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測量。
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