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中圖儀器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光學輪廓儀能以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
中圖儀器SuperViewW光學3D輪廓儀粗糙度在線檢測設備基于白光干涉原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸??蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
SJ5800系列軸承表面粗糙度輪廓儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,專業(yè)測試軸承內(nèi)外側。分辨率高達到0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm,高穩(wěn)定、高精密測量軸承。
中圖儀器國內(nèi)粗糙度儀和輪廓儀廠家采用超高精度納米衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術,可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量。
SuperViewW廣東光學3D輪廓儀表面粗糙度檢測儀器基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸??蓪Ω鞣N產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
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