該儀器廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、電機(jī)、汽車零部件、摩托車零部件、精蜜五金、精蜜工具、刀具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)。適用于科研院所、大專院校、計(jì)量機(jī)構(gòu)、企業(yè)計(jì)量室、車間?？蓽y量軸承、滾針、活塞、閥門、閥門、齒輪、滾子、電機(jī)軸、曲軸、圓柱銷、活塞銷、油泵噴嘴、液壓件、氣動件、紡織機(jī)械配件等。

　　三維表面輪廓儀的主要功能有哪些呢？

　　1、在被測表面反射率R=4%～100%范圍內(nèi)，可獲得理想的真彩色白光干涉圖，干涉圖質(zhì)量不低于國外同類產(chǎn)品。只有80%的國外類似儀器被迫停止測試。

　　2、測試各種表面粗糙度，包括：純金屬光滑表面、光學(xué)表面、化合物半導(dǎo)體涂層表面、聚合物和聚合物塑料表面、薄石墨層表面、精蜜機(jī)械表面等。測試范圍RA=0.001μM至0.2μM

　　3、將被測表面準(zhǔn)確調(diào)整到主表面水平內(nèi)，表面粗糙度輪廓以輕微色差顯示。這是國際雜志報(bào)道的利用白光干涉檢測薄表面和超薄表面的有效方法。

　　4、使用真彩色白光和黑色干涉條紋移動，1）恢復(fù)薄膜和基板之間過渡區(qū)域的3D形態(tài)，2）測試薄膜厚度，3）測試過渡區(qū)域的上升陡度。

　　5、通過干涉條紋判斷光學(xué)球面的表面加工質(zhì)量。

　　6、通過移動真彩色白光和黑色干涉條紋來測量表面缺陷的深度和寬度。

　　7、壓電陶瓷疊層PZT用于深度掃描幾十層，以恢復(fù)表面三維輪廓。

　　三維表面輪廓儀采用非接觸測量技術(shù)，具有亞納米級測量精度（在所有放大倍數(shù)下），可以更快更好地測量各種樣品表面。這是一種回報(bào)率非常高的產(chǎn)品。滿足各種應(yīng)用的需要，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜和臺階高度，它幾乎適用于任何材料表面。